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CMP后雙面清洗機

    CHEMIXX CMP 30pm是一款專門為晶圓雙面清洗設計的系統(tǒng),獨立系統(tǒng),占地面積小,非常適合有限的空間。具有4路化學液清洗,兆聲清洗,雙面PVA刷洗,去離子水沖洗等清洗模塊,對晶圓有頂級的清洗能力。

    更新時間:2022-11-25 17:29:15
  1. 詳細信息

n產品簡介

 

CHEMIXX CMP 30pm是一款專門為晶圓雙面清洗設計的系統(tǒng),獨立系統(tǒng),占地面積小,非常適合有限的空間。具有4路化學液清洗,兆聲清洗,雙面PVA刷洗,去離子水沖洗等清洗模塊,對晶圓有頂級的清洗能力

 

n產品特色

 

÷  晶圓最大 300mm

÷ PVA雙面刷洗

÷ 支持4路化學液清洗,包括氨水與SCI液體

÷ 工作臺含驅動組件,用于晶圓低速旋轉(50-100 rpm

÷ 化學清洗臂含 4 路化學液

÷ 具有去離子水和稀釋氨分配的水坑噴嘴

÷ ??????? 具有去離子水的 BSR(背面沖洗)噴嘴

÷ ??????? 具有帶有流通孔的工藝室

÷ ??????? 標配三種不同化學品供應系統(tǒng)

÷ ??????? 工藝室外的手動去離子水槍。

÷ ??????? 化學液可加熱,最高可達 60°C(最高85°C 

÷ ??????? 外部可更換化學液

÷ ??????? 支持兆聲清洗

÷ ??????? 支持高壓等離子水沖洗

 

n技術數(shù)據(jù) 

 

÷ ??????? 襯底尺寸: ?200 mm (?8 inch)  ?300 mm (?12 inch)

÷ ??????? 電機轉速最大 3.000 rpm步長 1rpm

÷ ??????? 電機加速: 1  999.9 秒,步長 0.1 s

÷  工藝腔室 PP 白色制成(可選 PVDF)

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